据外媒,近日举办的线上ITF大会上,半导体行业大脑比利时微电子研究中心(IMEC)公布了未来十年的技术蓝图。据悉,2025年后,晶体管微缩化进入埃米尺度(10埃米=1nm),2025年A14、2027年为A10、2029年为A7。


微观晶体管结构层面,根据技术蓝图,A14节点使用Forksheet结构(p型和n型纳米片晶体管成对排列,A10节点采用CEFT结构,1纳米以下采用原子形状的沟道,依赖Mo(钼)、W(钨)、X(硫)、Se(硒—)、Te(碲)等2D材料和High NA(高数值孔径)EUV光刻机来实现。

据悉,High NA EUV光刻机的一号原型机(EXE:5000)将在2023年由ASML提供给IMEC的联合实验室,2026年量产,从而服务1nm及更先进的节点。

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